伺服系统的开发经历了多个阶段

在1960年代初期，数控机床使用了液压伺服系统。与传统的直流电动机相比，液压伺服系统的响应时间更短，并且输出相同扭矩的伺服组件的外部尺寸更小。然而，液压伺服系统具有发热量高，功率低，环境污染和维护不便的缺点。在1960年代中期，由低功率伺服步进电机和液压扭矩放大器组成的开环系统曾经广泛地用于CNC机床中。它最有代表性的是日本公司的电液脉冲电动机伺服系统。然而，由于诸如太乱和可靠性差之类的缺陷。小惯性直流电动机在1960年代后期广泛用于CNC机床。小惯量的直流电动机增加了中央齿轮传动装置，并使电动机的结构更加混乱。它仅显示磨损，增加传输间隙，并影响传输精度。自1980年代以来，随着大规模集成电路，电力电子技术和计算机控制技术的发展，尤其是计算机矢量控制技术在AC电动机磁场上的重大突破，人们长期以来一直试图用AC电动机代替DC。可以完成电动机在调速和伺服控制中的应用想象。交流伺服系统几乎保留了直流系统的所有优点。它具有出色的技术特性，例如宽速度范围，高速稳定精度和良好的动态响应特性，并且继承了交流电动机本身固有的许多出色性能。近年来，国际上已经出现了许多带有直线电机进给伺服系统的加工设备。在1993年的汉诺威欧洲机床博览会上，德国展示了世界上第一个使用线性电动机的卧式加工中心，这为线性电动机伺服系统拉开了序幕。线性伺服是高速和高精度CNC机床的理想驱动方式。国内外都在积极研究和探索，将成为下一代数控机床的明显特征。